光柵尺可用于高精度測量的機(jī)床和系統(tǒng)
更新時間:2020-07-22 點擊次數(shù):3976次
光柵尺專為需要高精度測量的機(jī)床和系統(tǒng)而設(shè)計。消除了由滾珠絲杠的溫度和運動特性引起的誤差和反向誤差。典型應(yīng)用包括:半導(dǎo)體行業(yè)的測量和生產(chǎn)設(shè)備,電路板裝配機(jī),精密機(jī)床,高精度機(jī)床,測量機(jī)和比較器,測量顯微鏡和其他精密測量設(shè)備。
1.用于測量高速運動27m以內(nèi)的位置。尺寸和安裝方法與lida400相同
2.測量步驟很小,精度和重復(fù)精度很高。掃描方式為干涉掃描,測量基準(zhǔn)為二相相位光柵。
3.光柵尺的測量基準(zhǔn)為suradur玻璃矩陣光柵,掃描方式為干涉掃描。其特點是精度高,重復(fù)精度高,安裝簡單,開關(guān)受限,歸零。lif481v的特殊類型可以在10–7bar的真空環(huán)境中使用。
4.特別適用于運動速度高達(dá)10m/s的高速運動應(yīng)用。它支持各種安裝方法,并且易于安裝。根據(jù)應(yīng)用要求,冶金光柵的基質(zhì)可以是鋼帶,玻璃或玻璃陶瓷。也可以限制開關(guān)。
5.PP雙坐標(biāo)編碼器的測量基準(zhǔn)為平面二位相光柵,掃描方式為干涉掃描。用于測量平面中的位置。
光柵尺包括柵尺或鋼帶和讀數(shù)頭。柵尺和讀數(shù)頭之間沒有機(jī)械接觸。開口的線性柵尺的長光柵直接固定在安裝面上,安裝表面的平整度直接影響線性柵尺的精度。