海德漢封閉式直線光柵尺工作原理
更新時間:2018-11-07 點擊次數:4060次
海德漢封閉式直線光柵尺工作原理
常見光柵的工作原理都是根據物理上莫爾條紋的形成原理進行工作的。圖4-9是其工作原理圖。當使指示光柵上的線紋與標尺光柵上的線紋成一角度來放置兩光柵尺時,必然會造成兩光柵尺上的線紋互相交叉。在光源的照射下,交叉點近旁的小區域內由于黑色線紋重疊,因而遮光面積小,擋光效應弱,光的累積作用使得這個區域出現亮帶。相反,距交叉點較遠的區域,因兩光柵尺不透明的黑色線紋的重疊部分變得越來越少,不透明區域面積逐漸變大,即遮光面積逐漸變大,使得擋光效應變強,只有較少的光線能通過這個區域透過光柵,使這個區域出現暗帶。這些與光柵線紋幾乎垂直,相間出現的亮、暗帶就是莫爾條紋。莫爾條紋具有以下性質:
(1)當用平行光束照射光柵時,透過莫爾條紋的光強度分布近似于余弦函數。
(2)若用W表示莫爾條紋的寬度,d表示光柵的柵距,θ表示兩光柵尺線紋的夾角,則它們之間的幾何關系為W=d/sin當角很小時,上式可近似寫W=d/θ
若取d=0.01mm,θ=0.01rad,則由上式可得W=1mm。這說明,無需復雜的光學系統和電子系統,利用光的干涉現象,就能把光柵的柵距轉換成放大100倍的莫爾條紋的寬度。這種放大作用是光柵的一個重要特點。
(3)由于莫爾條紋是由若干條光柵線紋共同干涉形成的,所以莫爾條紋對光柵個別線紋之間的柵距誤差具有平均效應,能消除光柵柵距不均勻所造成的影響。
(4)莫爾條紋的移動與兩光柵尺之間的相對移動相對應。兩光柵尺相對移動一個柵距d,莫爾條紋便相應移動一個莫爾條紋寬度W,其方向與兩光柵尺相對移動的方向垂直,且當兩光柵尺相對移動的方向改變時,莫爾條紋移動的方向也隨之改變。